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ファイル:Wafer flats convention v2.svg

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概要

解説

Wafer flats convention, based on Image:Wafer flats convention.PNG

Conventional meaning of flats in semiconductor wafers. Red denotes material that has been removed.

Wafer orientation is the orientation of the crystallographic plane in which the crystal grew. Wafer type indicated the type of doping.
Primary flat - indicates crystallographic planes of high symmetry (usually the {110} face).
Secondary flat - it's position relative to Primary flat or it's absence is indicating the doping type and the orientation of wafer.

  • Absence - p {111}
  • 90° - p {100}
  • 180° - n {100}
  • 45° - n {111}
Wafers under 200mm generally have flats indicating crystallographic planes of high symmetry (usually the {110} face) and, in old-fashined wafers (those below about 100mm diameter), the wafer's orientation and doping type. Modern wafers use a notch to convey this information, in order to waste less material. Orientation is important for wafer cleavage, and can affect other structural and electronic properties as well.
日付
原典

self-made,

 
このW3C-unspecified ベクター画像はInkscapeで作成されました .
作者 Twisp
その他のバージョン Wafer flats convention.PNG

ライセンス

Public domain この著作物の著作権者である私は、この著作物における権利を放棄しパブリックドメインとします。これは全世界で適用されます。
一部の国では、これが法的に可能ではない場合があります。その場合は、次のように宣言します。
私は、あらゆる人に対して、法により必要とされている条件を除き、如何なる条件も課すことなく、あらゆる目的のためにこの著作物を使用する権利を与えます。

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題材

成立日

29 2 2008

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日付と時刻サムネイル寸法利用者コメント
現在の版2013年9月24日 (火) 21:402013年9月24日 (火) 21:40時点における版のサムネイル150 × 150 (13キロバイト)Cepheidenfixed position of secondary flat Silicon processing for the VLSI era - Vol. 1 - Process technology; S Wolf; RN Tauber - Lattice Press; 1986; ISBN 096167237; p. 23
2008年12月23日 (火) 00:372008年12月23日 (火) 00:37時点における版のサムネイル150 × 150 (13キロバイト)InductiveloadAdded arrow indication <110> direction and enlarged flats so they can be easily seen
2008年2月29日 (金) 21:172008年2月29日 (金) 21:17時点における版のサムネイル150 × 150 (9キロバイト)Twisp
2008年2月29日 (金) 21:132008年2月29日 (金) 21:13時点における版のサムネイル150 × 150 (9キロバイト)Twisp
2008年2月29日 (金) 21:062008年2月29日 (金) 21:06時点における版のサムネイル150 × 150 (8キロバイト)Twisp
2008年2月29日 (金) 20:592008年2月29日 (金) 20:59時点における版のサムネイル150 × 150 (8キロバイト)Twisp
2008年2月29日 (金) 18:092008年2月29日 (金) 18:09時点における版のサムネイル150 × 150 (9キロバイト)Twisp{{Information |Description= Wafer flats convention, based on Image:Wafer flats convention.PNG Conventional meaning of ''flats'' in semiconductor wafers. Black denotes material that has been removed. Wafer orientation is

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