ロボナノ

ロボナノ (ROBONANO) は、ファナックが製造・販売する、超精密ナノ加工機である^[1]。

最新機種はα-NMiAである。搭載されているCNCはFANUC Series 30i-B5。

ホログラムやフレネルレンズ、ヘッドアップディスプレイの金型加工などに用いられる^[2]。

特徴編集

基幹部品であるCNC、リニアモータ、アンプが内製化されており、ファナックの最先端のサーボ技術が応用されている。
0.1 nm単位のプログラム指令が可能である^[3]。
同時5軸制御に対応しており、ミーリング加工、引き切り加工、旋削加工が可能である^[1]。
加工後、機上でワーク形状の計測および補正加工することも可能である^[1]。
A4サイズまでのワークの加工を行える^[2]^[3]。
直動軸と割出軸に油静圧軸受を採用することで、バックラッシュやスティックスリップをなくしている。また、直動軸はリニアモータ、回転軸はビルトインサーボモータにより、全軸がダイレクトドライブされている^[1]。
床の振動を吸収するアクティブダンパを備えている^[2]。