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化学物質はすべて元素からできているので、構成する元素の種類と量を決定することはきわめて重要である。
元素分析には様々な方法が存在するが、[[有機合成]]の分野では以下に記す燃焼法を指すのが一般的である。また、無機化合物には、主に [[誘導結合プラズマ|ICP]]、[[ESCA]]、[[EDXSIMS]]、[[EPMA]] などの手法が用いられる。
 
==有機物の元素分析==
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[[誘導結合プラズマ|ICP]] はほぼあらゆる元素を高感度で分析することができるが、一般に溶液でないと測定できない。
[[ESCA]] はあらゆる元素を検出できるが、試料は固体に限られ、また定量性もあまりよくない。
[[EPMA]](EDX、WDX)は、B以降より重い元素について分析可能であり、重元素になるほど高感度・高精度になる。またX-Y方向で元素濃度のマップを描くことも可能である。試料は固体に限られる。
スパーク放電OESは微量元素には高感度であり、且つ多元素を同時に測定できるが、高濃度域では感度低下を示す。導電性のある固体でないと測定できない。
[[原子吸光法|AA]]は一般にICPより微量域で高感度であるが、高濃度域で感度低下を生じる。試料を溶液にしないと測定できない。
[[SIMS]]は非常に高感度であり、同位体の分析も可能である。また深さ(Z)方向に元素濃度のプロファイルを描くことも可能である。しかし、X-Y方向で元素マップは作成できず、元素のフラグメンテーションについての経験と知識が必要である。
 
[[en:elemental analysis]]