「光電子分光」の版間の差分

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照射する光に[[X線]]を用いるものを[[X線光電子分光]] (XPS) 、[[紫外線]]を用いるものを[[紫外光電子分光]] (UPS) と呼ぶ。XPSは[[元素]]の内殻電子の状態を、UPSは固体の[[状態密度]]を知る目的などで使用される。
 
また、光電子の運動量まで測定する方法を'''角度分解型光電子分光''' (Angle-resolved Photoemission Spectroscopy, '''ARPES''') という。20052009年現在ではエネルギー分解能 360150 μeV、角度分解能 0.1°程度の高精度の測定が可能である。
 
現在、最先端の研究で用いられている光電子分光装置のアナライザーのほとんどは VG Scienta 社のScientaシリーズである。エネルギー、角度分解能に優れるため市場をほぼ独占している。他に旧 Gammadata Scienta 社(現 VG Scienta 社)から独立した MB Scientific社の装置や、[[奈良先端科学技術大学院大学]]の大門寛が開発した2次元光電子分光器 (DIANA) などがある。光電子を放出するための励起光には、主にヘリウムランプ(主に21.2 eV)と [[SPring-8]] などのエネルギー可変の[[シンクロトロン]]放射光が使われ、また真空紫外レーザーを用いるものも開発されている。