「電子顕微鏡」の版間の差分

==電子顕微鏡の歴史==

[[磁場]]の[[電子線]]に対する[[レンズ作用]]を実験で示したのは1927年ドイツの[[ハンス・ブシュ]]([[:de:Hans Busch|Hans Busch]]) である。最初の電子顕微鏡 (TEM) は1931年に[[ベルリン工科大学]]の[[マックス・クノール]]と[[エルンスト・ルスカ]]が開発した。さらにルスカは性能を高め、この功績で1986年に[[ノーベル物理学賞]]を受賞した。[[シーメンス]]の科学ディレクターだった[[ユダヤ系ドイツ人]]の[[レインホールド・ルーデンベルク]]（[[:en:Reinhold Rudenberg]]）が1931年、特許をとり、1938年に電子顕微鏡を売り出す。走査形電子顕微鏡 (SEM) は1937年[[マンフレート・フォン・アルデンヌ]] ([[:en:Manfred von Ardenne|Manfred von Ardenne]]) によって製作された。1950年代から多くの分野で活用された。さらに短波長の電子線（加速電圧の向上）などによって性能は向上した。

 

== 利用 ==