「クリーンルーム」の版間の差分
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== 構造 ==
空気中の塵埃を除去するため、建屋内で閉鎖された構造の区画に超高性能[[エアフィルタ]]（[[HEPA]]など）を通
外部からの塵埃の流入を防止するため、室内気圧を外気圧より5～10Pa程度上げ、陽圧とする。▼
ただしハザード用途の場合は若干下げ、陰圧とする。▼
冷暖房も必要である。特に電子工業用途では、露光装置の寸法精度を確保するための温度管理が必要である。▼
CR内部での塵埃の堆積防止、清掃の容易性、フィルタ交換の維持管理の容易性などにも考慮が必要である。塵埃防止の観点から作業室床がダウンフローの気流を透過する[[グレーチング]]構造になっており、作業室下の階下に塵埃を落下させる構造になっているものもある。▼
▲また、用途に応じて気流の制御が行われる。
; 一方向流
: 気流が部屋全体で一定の方向に流れていく気流の方式。塵埃は気流に沿って押し出されるように除去され、レベルの高い清浄度が得られる。さらに、天井吹き出しで床面一体の吸い込みの垂直流と、壁面吹き出しの逆壁面の吸い込みの水平流に分類さ
; 非一方向流
: 気流が部屋の中で複雑に流れていく気流方式。塵埃はCR内で清浄空気によって希釈される形で排除される。換気風量は必要な清浄度と換気回数(換気風量を室内容積で割った値)によって決められる。一方向流方式と比べ清浄度は低いが、コストの点でメリットがあるため広く用いられる。
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更衣や材料の準備などを行うために前室が設けられることがある。▼
▲ただしハザード用途の場合は室内気圧を外気圧より若干下げ、陰圧とする。
▲冷暖房も必要である。特に電子工業用途では、露光装置の寸法精度を確保するための温度管理が必要である。
給排気システム以外ではCR内部での塵埃の堆積防止、清掃の容易性、フィルタ交換の維持管理の容易性など、建屋の構造にも考慮が必要である。
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また、特に清浄を要求される小さな領域をビニールカーテンなどで覆って清浄度を上げる工夫も行われる。
▲更衣や材料の準備などを行うために前室が設けられることがある。
== 空気清浄度 ==
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