「クリーンルーム」の版間の差分

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== 構造 ==
=== 給排気システム ===
空気中の塵埃を除去するため、建屋内で閉鎖された構造の区画に超高性能[[エアフィルタ]]([[HEPA]]など)を通じて空気を送り込み、排気経路から流出する空気を建屋外に排気または建屋内で循環させる給排気システムを備えている。
給排気システムは用途に応じて気流の制御が行われ、一方向流式、非一方向流式がある。
冷暖房も必要である。特に電子工業用途では、露光装置の寸法精度を確保するための温度管理が必要である。
 
=== 建屋 ===
給排気システム以外CRではCR内部での塵埃の堆積防止、清掃の容易性、フィルタ交換の維持管理の容易性など、建屋の構造にも考慮が必要である。
 
給排気システムが一方向の垂直流式では、作業室床がダウンフローの気流を透過する[[グレーチング]]構造になっており、作業室下の階下に塵埃を落下させる構造になっている。
 
また、特に清浄を要求される小さな領域をビニールカーテンなどで覆って清浄度を上げる工夫も行われる。
 
外部との入退室には、2つの扉の間に清浄空気による[[エアシャワー]]設備を置いた二重扉の出入口を設ける。
更衣や材料の準備などを行うために前室が設けられることがある。
 
更衣や材料の準備などを行うために前室が設けられることがある。火災などの発生時には非常口が設けられている場合もある。
== 空気清浄度 ==
どの程度の塵埃を許容するかの指標として、1立方フィートあたりの空気に、粒径0.5μm(マイクロメートル)以上の塵埃(粒子個数)がいくつあるかの数字で表す事が多い。
医療、食品関連のCRであれば0.5μm以上の粒子を対象とし、産業用は0.5~0.1μm以上の粒子を対象にする事が多い。
通常の(CR内でない)晴天時の外気はクラス1,000,000程度に相当する。(雨天時等は極端に粒子個数は低下し、600,000~200,000個/cf程度まで低下する。また市街地であるか山間部であるかによっても大きく個数濃度は異なる。)
クラス100といえば、100個/cfしかないので、病院のクリーンルームであればバイオクリーンルーム (BCR) と呼ばれ、産業用CRの場合はクラス1、スーパークリーンルームなどと呼ばれる。
もちろん、それ以上の大きな塵埃はゼロに近くなくてはならない。
最近は塵埃量に加え、ガス成分、静電気、電磁波なども管理の対象となることがある。
さらに医療、食品産業用の場合は浮遊微生物(一般細菌、大腸菌、カビ)も対象となる。
 
== 入退出運用と用具 ==
=== 入退出 ===
人間は大量の塵埃を発生させるので、全身を覆う専用のクリーンウェア(無塵服)や[[マスク]]を着装し、二重扉になった場所の出入口清浄空気([[エアシャワー]])を浴びて塵埃を落としてから入室する。出入口の床には粘着マットが敷かれ、靴底や装置下面の塵埃を除去する。
物品の搬入もドアの開閉時の外気からの塵埃流入を防ぐため、パスボックスを用い二重扉の間でやり取りする。
出入口の床には粘着マットが敷かれ、靴底や装置下面の塵埃を除去する。
CR内部には便所がないのが普通なので、出入りのたびに手間がかかる。
火災などの発生時には非常口が設けられている場合もある。
 
=== 用具 ===
CR内では塵埃の発生はタブーであるため、使用できる用具には特殊なものがある。
 
[[紙]]はその繊維などが塵埃となるため、発塵を抑えたクリーンペーパー(無塵紙)というものを使用する。
また、[[鉛筆]]や[[シャープペンシル]]は発塵するため使用不可であり持込み禁止である。[[ボールペン]]もノック式ではなくキャップ式を用いることがある。
清掃も、水道水や洗剤を用いると水分蒸発後の残留成分が塵埃となるため、テフロンワイプを[[超純水]]や[[エタノール]]で湿らせて拭き取ることが多い。
防塵服の洗濯は、専用の洗剤を用いて、他のものと分けた防塵服専用の洗濯機でおこなう。
 
== 空気清浄度 ==
どの程度の塵埃を許容するかの指標として、1立方フィートあたりの空気に、粒径0.5μm(マイクロメートル)以上の塵埃(粒子個数)がいくつあるかの数字で表す事が多い。
医療、食品関連のCRであれば0.5μm以上の粒子を対象とし、産業用は0.5~0.1μm以上の粒子を対象にする事が多い。
通常の(CR内でない)晴天時の外気はクラス1,000,000程度に相当する。(雨天時等は極端に粒子個数は低下し、600,000~200,000個/cf程度まで低下する。また市街地であるか山間部であるかによっても大きく個数濃度は異なる。)
クラス100といえば、100個/cfしかないので、病院のクリーンルームであればバイオクリーンルーム (BCR) と呼ばれ、産業用CRの場合はクラス1、スーパークリーンルームなどと呼ばれる。
もちろん、それ以上の大きな塵埃はゼロに近くなくてはならない。
最近は塵埃量に加え、ガス成分、静電気、電磁波なども管理の対象となることがある。
さらに医療、食品産業用の場合は浮遊微生物(一般細菌、大腸菌、カビ)も対象となる。
 
== 資格 ==
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