「ウェットエッチング」の版間の差分

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'''ウエットエッチング'''とは、目的とする[[金属]]等を[[腐食]][[溶解]]する性質を持つ[[液体]]の[[薬品]]を使った[[エッチング]]である。
 
== 概要 ==
主に[[プリント基板|プリント配線板]]製造や、金属[[銘板]]製造、[[半導体素子]]製造等の分野において使われる。半導体[[集積回路]]製造において、[[リソグラフィ]]技術と並んで重要な技術であり、半導体などの基板表面に光(電子ビーム)リソグラフィなどで微細なパターンを有するエッチ[[マスク]]を形成させ、それによって基板を微細加工する際に用いられる。なお、[[美術]]の分野で[[]][[版画]]にウエットエッチングが使われることがある。また[[結晶構造]]による反応性の違いを利用した異方性エッチングも使用される。他に、[[太陽電池]]表面の[[反射率]]を下げる為に[[テクスチャ]]形成にも用いられる<ref>{{Cite journal|和書
|author = 辻埜和也
|coauthors = 松村道雄