「ウェットエッチング」の版間の差分

ウエットエッチングの処理方法としては、エッチング液を満たした容器内で浸食するディップ式が簡便であるが、金属を腐食溶解した薬品を流し去り、処理面に新鮮な薬品を供給する必要があるため、容器内で薬品を揺すったりかき混ぜたりする必要がある。その点を改良したものとして、処理対象にスプレー式に薬品を吹き付けるスプレー式、[[スピンコーター|スピナー]]と呼ばれる回転台に基板を取り付けて、薬品を滴下するスピン式などがある。

 

[[ドライエッチング]]に比べた長所としては、

# 一度に大量の基板が処理できる

== 関連項目 ==

* [[エッチング]]

 

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