「ケルビンプローブフォース顕微鏡」の版間の差分

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試料表面と大きくプローブの仕事関数が大きく離れている場合⇒試料表面とプローブの仕事関数が大きく離れている場合(「大きく」は不要)
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== 特徴 ==
試料の表面形状とポテンシャル像を同時に得ることができるため、デバイス表面物性の評価に有用である。この際、取得されるポテンシャル像は、使用する[[カンチレバー]]の[[仕事関数]]との差が[[電位]]像として取得される。このKFMは[[大気]]中のものと[[真空]]中で利用されるものがある。現在、[[真空|超高真空]]中にて[[原子]]分解能程度まで高感度に観察された例が報告されている。イギリスの[[ケルビン]]が[[接触電位差]]として短針と試料との電位差が得られることを発見した事が名前の由来となっている。
 
== 測定 ==