走査型マイクロ波顕微鏡

走査型マイクロ波顕微鏡（そうさがたマイクロはけんびきょう）とはマイクロ波により画像を得る顕微鏡。

概要

マイクロ波は可視光と比較してはるかに波長が長いため、そのままでは分解能を高める事ができない。そこで走査型近接場光顕微鏡の概念をマイクロ波の帯域にまで拡張する事によって分解能を高める方法と原子間力顕微鏡の手法を適用して分解能を高める手法がある。

走査型近接場光顕微鏡の手法ではマイクロ波の照射位置を局所的に絞って試料を相対的に走査する。「空洞共振器」に小さな穴を開けてそこから漏れたマイクロ波を穴に密着した試料の微小領域にあてて、試料をX-Yステージを用いて機械的に走査することでマイクロ波ビームを走査する。この方法で200nm程度の分解能が得られる。

原子間力顕微鏡の手法ではカンチレバーの先端の探針からマイクロ波を局所領域に照射する。

用途

• 材料分析

参考文献

• 南秀樹, et al. "マイクロ波顕微鏡によるコンビ誘電体試料の評価." 第 47 回応用物理学関係連合講演会要旨集 2 (2000).
• 南秀樹, et al. "走査型マイクロ波顕微鏡による M x Zn 1-x O (M= W, Mo, Ru) コンビナトリアル試料の評価." 第 61 回応用物理学会学術講演会講演予稿集 2 (2000).
• 掛本博文, et al. "非接触プローブを用いたマイクロ波顕微鏡の空間分解能の解析." 2006 年 (平成 18 年) 春季 第 53 回応用物理学関係連合講演会 1 (2006).
• 髙橋英幸. "走査型トンネル/マイクロ波顕微鏡の高感度化と低温応用". Diss. 2015.
• 高橋英幸, 今井良宗, 前田京剛. "21aBA-12 走査型マイクロ波顕微鏡による K_xFe_ySe_2 におけるメゾスコピック相分離のマイクロ波イメージング." 日本物理学会講演概要集 70.1 (2015): 1945.

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