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===== [[スパッタリング]] =====
*プラズマ[[スパッタリング]]は真空中でプラズマ放電を使ったコーティング。光触媒ガラスや遮熱高断熱ガラスをコーティングする際に用いられる。
*プラズマ[[スパッタリング]]
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