「ケルビンプローブフォース顕微鏡」の版間の差分

[[File:Kelvin probe force microscopy.svg|thumb|250px|ケルビンプローブフォース顕微鏡の模式図。プローブにレーザー光を照射して表面を走査した時の凸凹に応じて上下するカンチレバーの変移量を4象限[[フォトダイオード]]で検出して表面のデータを収集する。]]

'''ケルビンプローブフォース顕微鏡'''（ケルビンプローブフォースけんびきょう、Kelvin probe Force Microscopy:KFM）は、[[原子間力顕微鏡]] (AFM) を元に開発された[[顕微鏡]]の一種。