「イオン注入」の版間の差分

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{{出典の明記|datefdate=2012年10月}}
'''イオン注入'''(イオンちゅうにゅう、{{Lang-en|ion implantation}})は、[[物質]]の[[イオン]]を[[固体]]に注入する加工方法である。イオン注入は固体の特性を変化させる点で[[材料工学]]に属し、[[工業]]的には[[半導体]]の生産に使用され、[[金属]]の[[表面処理]]など様々な[[材料科学]]の研究などが行われている。イオン注入は、対象の物質と別の[[元素]]を注入することにより、物質に化学的変化を与えると同時に、物質の破損または破壊など、構造的な変化も与える。
 
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