「半導体製造装置」の版間の差分
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'''半導体製造装置'''（はんどうたいせいぞうそうち）とは[[半導体]]の製造に使用される装置。
== 概要 ==
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== 主な半導体製造装置 ==
* [[縮小投影型露光装置]]
* [[イオン注入|イオン注入装置]]
* 熱処理装置
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== 主な企業 ==
* [[東京エレクトロン]]
* [[アプライド・マテリアルズ]]
* [[日立ハイテク]]
* [[東京精密]]
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== 出典 ==
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