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光学系は[[カール・ツァイス]]が供給し、[[蛍石]]や[[石英]]が[[レンズ]]に使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。カール・ツァイスは2000年代初頭自社の半導体関係のビジネスを子会社であるSMTに分社化していて、このSMTには近年ASMLが資本参加している。なお光源は2012年買収したアメリカのサイマーから前から調達している。そういう経緯で一時国内外から[[オープンイノベーション]]の成功例と言われたASMLが現在は技術の囲い込みを達成しているほど、[[ニコン]]などの日本勢の特徴だった技術の自己負担主義との区別がつかない現状になっている。
 
ASMLは2020年(令和2年)現在、世界唯一の[[極端紫外線リソグラフィ]]装置メーカーである。<ref>{{Cite web|title=Our technology - Supplying the semiconductor industry|url=https://www.asml.com/en/technology|website=www.asml.com|accessdate=2020-09-09|language=en|publisher=|quote=}}</ref>
 
== 世界シェア・ランキング ==
* 1988年 スピンオフし独立した企業となり、旧社名の省略形のASMLを社名とする
* 1995年 [[アムステルダム証券取引所]]および[[NASDAQ|ナスダック]]に上場<ref name="ASMLの歴史" />
* 2000年 アメリカの同業SVGを買収
* 2001年 エーエスエムエル・ジャパン株式会社を設立。同年12月[[ニコン]]から提訴される
* 2004年8月にArF液浸露光装置の第1世代機(試作機)「AT:1150i」出荷
* 2004年 第3世代機(量産機)「XT:1400i」出荷
* 2006年 第4世代機(量産機)「XT:1700i」出荷
* 2012年 アメリカの同業サイマーを買収<ref>{{cite web|url=http://news.mynavi.jp/news/2012/10/17/108/|title=ASML、半導体向けEUVリソグラフィの開発を促進に向けCymerを買収|accessdate=2017-01-02|date=2012-10-17|publisher=マイナビニュース}}</ref>
* 2016年 台湾の漢民微速科技を買収<ref>{{cite web|url=https://www.bloomberg.co.jp/news/articles/2016-06-16/O8U8RP6S973201|title=蘭ASMLが台湾の漢民微測科技を買収へ-約3260億円で|accessdate=2017-01-02|date=2016-06-16|publisher=ブルームバーグ}}</ref>
* 2017年 ニコンからまた提訴される
* [[国際半導体技術ロードマップ]]
*[[Interuniversity Microelectronics Centre|IMEC]]
*[[極端紫外線リソグラフィ]]([[:en: Extreme ultraviolet lithography |英]])
* [[:en: Multiple patterning | Multiple Patterning]] {{En icon}}
* [[:en: Extreme ultraviolet lithography | EUV Lithography]] {{En icon}}
 
== 出典 ==
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