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'''ASML'''({{lang-ja-short|エーエスエムエル}}、{{lang-nl-short|ASML Holding N.V.}})は、[[オランダ]]南部・フェルトホーフェンに本部を置く[[半導体]]製造装置メーカーである。半導体露光装置([[ステッパー]]、[[フォトリソグラフィ]]装置)を販売する世界最大の会社で、16ヶ国に60以上の拠点を有し、世界中の主な半導体メーカーの80%以上がASMLの顧客である。日本法人は'''エーエスエムエル・ジャパン株式会社'''。[[ユーロネクスト・アムステルダム]]、[[NASDAQ]]上場企業({{Euronext|ASML}}、{{NASDAQ|ASML}})。
 
== 概要 ==
近年の露光機には、光源に[[紫外線]]を発するArF[[エキシマレーザー]]が使用されており、さらに[[液浸]]露光技術が用いられる。2019年には液浸露光装置の[[分解能 |解像度]]が13[[ナノメートル]]に達した<ref name="ASMLの歴史">{{Cite web|title=ASMLの歴史|url=http://www.asml.com/asml/show.do?lang=JA&ctx=43436&rid=43443|accessdate=2012-07-20}}</ref>。
 
光学系は[[カール・ツァイス]]が供給し、[[蛍石]]や[[石英]]が[[レンズ]]に使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。カール・ツァイスは2000年代初頭自社の半導体関係のビジネスを子会社であるSMTに分社化していて、このSMTには近年ASMLが資本参加している。なお光源は2012年買収したアメリカの[[サイマー]]から前から調達されている。一時国内外から[[オープンイノベーション]]の成功例と言われたASMLがそういう経緯で今は技術の囲い込みを達成しているほど、ニコンなどの日本勢の特徴だったである技術自己負担主義との区別がつかない現状になっている。
 
ASMLは2020年(令和2年)現在、世界唯一の[[極端紫外線リソグラフィ]]装置メーカーである。同装置の価格は1台当100億円に達する<ref>{{Cite web|title=Our technology - Supplying the semiconductor industry|url=https://www.asml.com/en/technology|website=www.asml.com|accessdate=2020-09-09|language=en|publisher=|quote=}}</ref>。
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