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光学系は[[カール・ツァイス]]が供給し、[[蛍石]]や[[石英]]が[[レンズ]]に使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。カール・ツァイスは2000年代初頭に自社の半導体関係のビジネスを子会社であるSMTに分社化していて、このSMTには近年ASMLが資本参加している。なお光源は2012年買収したアメリカの[[サイマー]]から前から調達されている。一時国内外から[[オープンイノベーション]]の成功例と言われたASMLがそういう経緯で今は技術の囲い込みを達成しているほど、ニコンなどの日本勢の特徴である技術自己負担主義との区別がつかない現状になっている。
 
ASMLは2020年(令和2年)現在、世界唯一の[[極端紫外線リソグラフィ]]装置メーカーである。同装置の価格は1台当100億円に達する<ref>{{Cite web|title=Our technology - Supplying the semiconductor industry|url=https://www.asml.com/en/technology|website=www.asml.com|accessdate=2020-09-09|language=en|publisher=|quote=}}</ref>。
 
== 世界シェア・ランキング ==
 
2008年の[[半導体・製造装置メーカー売上高ランキング|半導体製造装置メーカーランキング]](VLSI Researchによる)では、[[東京エレクトロン]]を抜き2位に浮上し<ref>https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/pdf_file_1237312663.htm</ref> 、2011年の同ランキングでは[[アプライド・マテリアルズ]]を抜き、初めて1位となった<ref>https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/706001v1.0.htm</ref>。
 
ASMLは2020年(令和2年)現在、世界唯一の[[極端紫外線リソグラフィ]]装置メーカーである。同装置の価格は1台当100億円に達する<ref>{{Cite web|title=Our technology - Supplying the semiconductor industry|url=https://www.asml.com/en/technology|website=www.asml.com|accessdate=2020-09-09|language=en|publisher=|quote=}}</ref>。
 
== 沿革 ==
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