「ASML」の版間の差分

271 バイト追加 、 10 か月前
編集の要約なし
(→‎沿革: 出典必要)
近年の露光機には、光源に[[紫外線]]を発するArF[[エキシマレーザー]]が使用されており、さらに[[液浸]]露光技術が用いられる。2019年には液浸露光装置の[[分解能 |解像度]]が13[[ナノメートル]]に達した<ref name="ASMLの歴史">{{Cite web|title=ASMLの歴史|url=http://www.asml.com/asml/show.do?lang=JA&ctx=43436&rid=43443|accessdate=2012-07-20}}</ref>。
 
光学系は[[カール・ツァイス]]が供給し、[[蛍石]]や[[石英]]が[[レンズ]]に使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。カール・ツァイスは2000年代初頭に自社の半導体関係のビジネスを子会社であるSMTに分社化していて、このSMTには近年ASMLが資本参加している<ref>{{Cite web|title=ASML、独光学機器大手系に1100億円出資|url=https://www.nikkei.com/article/DGXLASGM04H08_U6A101C1EAF000/|website=日本経済新聞 電子版|accessdate=2020-09-18|language=ja}}</ref>。なお光源は2012年買収したアメリカの[[サイマー]]([[:en:Cymer|英]])から前から調達されている。一時国内外から[[オープンイノベーション]]の成功例と言われたASMLがそういう経緯で今は技術の囲い込みを達成しているほど、ニコンなどの日本勢の特徴である技術己負担主義との区別がつかない現状になっている。
 
== 世界シェア・ランキング ==
売上高ベースで2019年のASML露光装置の世界シェアは81.2%である<ref>{{Cite book|title=世界半導体製造装置・試験/検査装置市場年鑑2019|date=2019年|year=2019年|publisher=グローバルネット株式会社}}</ref>。1996年は日本のニコンが約50%弱、[[キヤノン]]が約25%のシェアを獲得していた。
 
2008年の[[半導体・製造装置メーカー売上高ランキング|半導体製造装置メーカーランキング]](VLSI Researchによる)では、[[東京エレクトロン]]を抜き2位に浮上し<ref>https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/pdf_file_1237312663.htm</ref> 、2011年の同ランキングでは[[アプライド・マテリアルズ]]を抜き、初めて1位となった<ref>https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/706001v1.0.htm</ref>。1990年代にはアプライド、
 
ASMLは2020年(令和2年)現在、世界唯一の[[極端紫外線リソグラフィ]](EUVL)装置メーカーである。同装置の価格は1台当100150億円に達する<ref>{{Cite web|title=Our technology - Supplying the semiconductor industry|url=https://www.asml.com/en/technology|website=www.asml.com|accessdate=2020-09-09|language=en|publisher=|quote=}}</ref>。
 
== 沿革 ==
141

回編集