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売上高ベースで2019年のASML露光装置の世界シェアは81.2%である<ref>{{Cite book|title=世界半導体製造装置・試験/検査装置市場年鑑2019|date=2019年|year=2019年|publisher=グローバルネット株式会社}}</ref>。1996年は日本のニコンが約50%弱、[[キヤノン]]が約25%のシェアを獲得していた。
 
2008年の[[半導体・製造装置メーカー売上高ランキング|半導体製造装置メーカーランキング]](VLSI Researchによる)では、[[東京エレクトロン]]を抜き2位に浮上し<ref>https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/pdf_file_1237312663.htm</ref> 、2011年の同ランキングでは[[アプライド・マテリアルズ]]を抜き、初めて1位となった<ref>https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/706001v1.0.htm</ref>。1990年代にはアプライド、
 
ASMLは2020年(令和2年)現在、世界唯一の[[極端紫外線リソグラフィ]](EUVL)装置メーカーである。同装置の価格は1台当150億円に達する<ref>{{Cite web|title=Our technology - Supplying the semiconductor industry|url=https://www.asml.com/en/technology|website=www.asml.com|accessdate=2020-09-09|language=en|publisher=|quote=}}</ref>。
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