「シリコンウェハー」の版間の差分

ラッピング工程では、鋳物製の上下2枚の定盤間にウエハーと[[ステンレス]]製キャリアを挟み込み、そこに[[アルミナ]]か[[シリコンカーバイド]]の砥粒を含んだ[[ラップ液]]を流し込みながら擦り合わせて、スライシング工程での時にできた表面の凹凸を除去しながら厚さ揃え、また表裏面の平行度も高める。