「ASML」の版間の差分

編集の要約なし
m
近年の露光機には、光源に[[紫外線]]を発するArF[[エキシマレーザー]]が使用されており、さらに[[液浸]]露光技術が用いられる。2019年には液浸露光装置の[[分解能 |解像度]]が13[[ナノメートル]]に達した<ref name="ASMLの歴史">{{Cite web|title=ASMLの歴史|url=http://www.asml.com/asml/show.do?lang=JA&ctx=43436&rid=43443|accessdate=2012-07-20}}</ref>。
 
光学系は[[カール・ツァイス]]が供給し、[[蛍石]]や[[石英]]が[[レンズ]]に使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。
光学系は[[カール・ツァイス]]が供給し、[[蛍石]]や[[石英]]が[[レンズ]]に使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。カール・ツァイスは2000年代初頭に自社の半導体関係のビジネスを子会社であるSMTに分社化していて、このSMTには近年ASMLが資本参加している<ref>{{Cite web|title=ASML、独光学機器大手系に1100億円出資|url=https://www.nikkei.com/article/DGXLASGM04H08_U6A101C1EAF000/|website=日本経済新聞 電子版|accessdate=2020-09-18|date=2016-11-04|language=ja}}</ref>。なお光源は2012年買収したアメリカの[[サイマー]]([[:en:Cymer|英]])から前から調達されている。一時国内外から[[オープンイノベーション]]の成功例と言われたASMLがそういう経緯で今は技術の囲い込みを達成しているほど、ニコンなどの日本勢の特徴である自前主義との区別がつかない現状になっている。
 
光学系は[[カール・ツァイス]]が供給し、[[蛍石]]や[[石英]]が[[レンズ]]に使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。カール・ツァイスは2000年代初頭に自社の半導体関係のビジネス子会社であるSMTに分社化されていて、のSMTには近年ASMLが資本参加している<ref>{{Cite web|title=ASML、独光学機器大手系に1100億円出資|url=https://www.nikkei.com/article/DGXLASGM04H08_U6A101C1EAF000/|website=日本経済新聞 電子版|accessdate=2020-09-18|date=2016-11-04|language=ja}}</ref>。なお露光装置の中核である光源は2012年買収したアメリカの[[{{仮リンク|サイマー]]([[:|en:|Cymer|英]])label=}}から前から調達されている<ref name=":1" />。一時国内外から[[オープンイノベーション]]の成功例と言われたASML、今はそういう経緯で今は技術の[[囲い込みを達成しているほど、ニコンなどの日本勢の特徴である自前主義との区別がつかない現状]]になっている。
 
== 世界シェア・ランキング ==
2008年の[[半導体・製造装置メーカー売上高ランキング|半導体製造装置メーカーランキング]](VLSI Researchによる)では、[[東京エレクトロン]]を抜き2位に浮上し<ref>https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/pdf_file_1237312663.htm</ref> 、2011年の同ランキングでは[[アプライド・マテリアルズ]]を抜き、初めて1位となった<ref>https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/706001v1.0.htm</ref>。
 
ASMLは2020年(令和2年)現在、世界唯一の[[極端紫外線リソグラフィ]](EUVL)装置メーカーである。同装置の価格は1台当150240億円に達する<ref>{{Cite webnews|title=OurASML technologyfirst -quarter Supplyingnet theprofit semiconductormisses industryestimates, 2020 targets still achievable|url=https://www.asmlreuters.com/enarticle/technologyasml-results-idINKCN21X0VJ|websitework=www.asml.comReuters|date=2020-04-15|accessdate=2020-0910-0915|language=en|publisherfirst=Toby|quotelast=Sterling}}</ref>。
 
== 沿革 ==
* 2004年 第3世代機(量産機)「XT:1400i」出荷
* 2006年 第4世代機(量産機)「XT:1700i」出荷
* 2012年 アメリカのサイマーを買収<ref name=":1">{{cite web|url=http://news.mynavi.jp/news/2012/10/17/108/|title=ASML、半導体向けEUVリソグラフィの開発を促進に向けCymerを買収|accessdate=2017-01-02|date=2012-10-17|publisher=マイナビニュース}}</ref>
* 2016年 台湾の漢民微速科技を買収<ref>{{cite web|url=https://www.bloomberg.co.jp/news/articles/2016-06-16/O8U8RP6S973201|title=蘭ASMLが台湾の漢民微測科技を買収へ-約3260億円で|accessdate=2017-01-02|date=2016-06-16|publisher=ブルームバーグ}}</ref>
* 2017年 ニコンがASMLを再び特許侵害で提訴<ref name=":0">{{cite web|url=https://www.nikon.co.jp/news/2017/0424_01.htm|title=ASMLおよびCarl Zeissに対する半導体露光装置に関する特許侵害訴訟の提起について|accessdate=2020-09-15|date=2017-04-24|website=www.nikon.co.jp}}</ref>
* 2019年 ニコンとの和解成立<ref>{{Cite web|title=Nikon {{!}} ニュース {{!}} 報道資料:ニコン、ASML、Carl Zeiss間における全ての訴訟手続の和解合意について|url=https://www.nikon.co.jp/news/2019/0123_01.htm|website=www.nikon.co.jp|accessdate=2020-09-09}}</ref>
 
141

回編集