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光学系は[[カール・ツァイス]]が供給し、[[蛍石]]や[[石英]]が[[レンズ]]に使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。
 
カール・ツァイスは2000年代初頭に自社の半導体関係のビジネスが子会社であるSMTに分社化されていて、そのSMTには近年ASMLが資本参加している<ref>{{Cite web|title=ASML、独光学機器大手系に1100億円出資|url=https://www.nikkei.com/article/DGXLASGM04H08_U6A101C1EAF000/|website=日本経済新聞 電子版|accessdate=2020-09-18|date=2016-11-04|language=ja}}</ref>。なお露光装置の中核である光源は2012年に買収したアメリカの{{仮リンク|サイマー|en|Cymer|label=}}から前から調達されている<ref name=":1" />。一時国内外から[[オープンイノベーション]]の成功例だと言われたASMLだが、今はそういう経緯で技術の[[囲い込み]]になっている。ASMLは本来オランダの政策金融で破綻を免れた後、日本勢の独走に危機感を感じていたアメリカ官民の理解を得て、技術導入と買収によって成長した企業という背景があり、ある意味当たり前の展開である。
 
== 世界シェア・ランキング ==
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