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また、ASMLは2020年(令和2年)現在、世界唯一の[[極端紫外線リソグラフィ]](EUVL)装置メーカーである。同装置は7nmノード以下の露光が可能である。同装置の価格は1台当240億円に達する<ref>{{Cite news|title=ASML first quarter net profit misses estimates, 2020 targets still achievable|url=https://www.reuters.com/article/asml-results-idINKCN21X0VJ|work=Reuters|date=2020-04-15|accessdate=2020-10-15|language=en|first=Toby|last=Sterling}}</ref>。
 
光学系は[[カール・ツァイス]]が供給し、[[蛍石]]や[[石英]]が[[レンズ]]に使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。カール・ツァイスは2000年代初頭に自社の半導体関係のビジネスが子会社であるSMTに分社化されていて、そのSMTには近年ASMLが資本参加している<ref>{{Cite web|title=ASML、独光学機器大手系に1100億円出資|url=https://www.nikkei.com/article/DGXLASGM04H08_U6A101C1EAF000/|website=日本経済新聞 電子版|accessdate=2020-09-18|date=2016-11-04|language=ja}}</ref>
 
なお、光源は2012年に買収したアメリカの{{仮リンク|サイマー|en|Cymer|label=}}から前から調達されている<ref name=":1" />。
カール・ツァイスは2000年代初頭に自社の半導体関係のビジネスが子会社であるSMTに分社化されていて、そのSMTには近年ASMLが資本参加している<ref>{{Cite web|title=ASML、独光学機器大手系に1100億円出資|url=https://www.nikkei.com/article/DGXLASGM04H08_U6A101C1EAF000/|website=日本経済新聞 電子版|accessdate=2020-09-18|date=2016-11-04|language=ja}}</ref>。なお露光装置の中核である光源は2012年に買収したアメリカの{{仮リンク|サイマー|en|Cymer|label=}}から前から調達されている<ref name=":1" />。一時国内外から[[オープンイノベーション]]の成功例だと言われたASMLだが、今はそういう経緯で技術の[[囲い込み]]になっている。ASMLは本来オランダの政策金融で破綻を免れた後、日本勢の独走に危機感を感じていたアメリカ官民の理解を得て、技術導入と買収によって成長した企業という背景があり、ある意味当たり前の展開である。
 
カール・ツァイスは2000年代初頭に自社の半導体関係のビジネスが子会社であるSMTに分社化されていて、そのSMTには近年ASMLが資本参加している<ref>{{Cite web|title=ASML、独光学機器大手系に1100億円出資|url=https://www.nikkei.com/article/DGXLASGM04H08_U6A101C1EAF000/|website=日本経済新聞 電子版|accessdate=2020-09-18|date=2016-11-04|language=ja}}</ref>。なお露光装置の中核である光源は2012年に買収したアメリカの{{仮リンク|サイマー|en|Cymer|label=}}から前から調達されている<ref name=":1" />。一時国内外から[[オープンイノベーション]]の成功例だと言われたASMLだが、今はそういう経緯で技術の[[囲い込み]]になっている。ASMLは本来オランダの政策金融で破綻を免れた後、日本勢の独走に危機感を感じていたアメリカ官民の理解を得て、技術導入と買収によって成長した企業という背景があり、ある意味当たり前の然な展開である。
 
== 世界シェア・ランキング ==
* 1988年 スピンオフし独立した企業となり、旧社名の省略形のASMLを社名とする
* 1995年 [[アムステルダム証券取引所]]および[[NASDAQ|ナスダック]]に上場<ref name="ASMLの歴史" />
* 2000年 アメリカの同業SVGを買収した事によって、それまでにアジア新興勢を取引先としていたASMLが最大の半導体メーカー米[[インテル]] へのアクセスを確保、一気にシェアを拡大
* 2001年 エーエスエムエル・ジャパン株式会社を設立。同年12月[[ニコン]]が特許侵害でASMLを提訴(2004年に和解)<ref>{{cite web|url=https://www.itmedia.co.jp/news/articles/0409/29/news099.html|title=ニコン、ステッパー特許訴訟でASMLと和解|accessdate=2020-09-15|date=2004-09-29|publisher=ITmedia News}}</ref>
* 2004年8月にArF液浸露光装置の第1世代機(試作機)「AT:1150i」出荷
* 2004年 第3世代機(量産機)「XT:1400i」出荷
* 2006年 第4世代機(量産機)「XT:1700i」出荷
* 2012年 次世代露光技術の一つである極端紫外線の開発の加速化のため、世界半導体大手の3社インテル、サムスン、TSMCから約50億ドルの投資を受け入れる。ニコンと長いパートナー関係のインテルが6割の30億ドルを担う事になる<ref>{{Cite web|title=Samsung、ASML株の3%を6億3000万ドルで取得へ|url=https://eetimes.jp/ee/articles/1208/29/news032.html|website=EE Times Japan|accessdate=2020-12-01|language=|publisher=}}</ref> 。ニコンは同技術の実用化と普及が起こる可能性が低いと判断していたので、2010年代初頭に開発から撤退している
* 同年 アメリカのサイマーを買収<ref name=":1">{{cite web|url=http://news.mynavi.jp/news/2012/10/17/108/|title=ASML、半導体向けEUVリソグラフィの開発を促進に向けCymerを買収|accessdate=2017-01-02|date=2012-10-17|publisher=マイナビニュース}}</ref>
* 2016年 台湾の漢民微速科技を買収<ref>{{cite web|url=https://www.bloomberg.co.jp/news/articles/2016-06-16/O8U8RP6S973201|title=蘭ASMLが台湾の漢民微測科技を買収へ-約3260億円で|accessdate=2017-01-02|date=2016-06-16|publisher=ブルームバーグ}}</ref>
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