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また、ASMLは2020年(令和2年)現在、世界唯一の[[極端紫外線リソグラフィ]](EUVL)装置メーカーである。同装置は7nmノード以下の露光が可能である。同装置の価格は1台当240億円に達する<ref>{{Cite news|title=ASML first quarter net profit misses estimates, 2020 targets still achievable|url=https://www.reuters.com/article/asml-results-idINKCN21X0VJ|work=Reuters|date=2020-04-15|accessdate=2020-10-15|language=en|first=Toby|last=Sterling}}</ref>。
 
光学系は前から[[カール・ツァイス]]が供給し、[[蛍石]]や[[石英]]が[[レンズ]]に使用されている。近年では反射鏡を組み合わせた光学系もある。技術をアウトソル・ツァシングする戦略は、国内外から[[オープンスは2000年代初頭に自社ノベーション]]半導体関係のビジネスが子会社であるSMTに分社化成功例とも評価されていて、そのSMTには近年ASMLが資本参加している<ref>{{Cite web|title=ASML、独光学機器大手系に1100億円出資|url=https://www.nikkei.com/article/DGXLASGM04H08_U6A101C1EAF000/|website=日本経済新聞 電子版|accessdate=2020-09-18|date=2016-11-04|language=ja}}</ref>
 
ただし、躍進を始めてからは違う局面になっている。ツァイスの半導体事業は、2000年代初頭に子会社であるSMT社に分社化されていて、近年ASMLが資本参加している<ref>{{Cite web|title=ASML、独光学機器大手系に1100億円出資|url=https://www.nikkei.com/article/DGXLASGM04H08_U6A101C1EAF000/|website=日本経済新聞 電子版|accessdate=2020-09-18|date=2016-11-04|language=ja}}</ref>。前からの光源サプライヤーであるアメリカの{{仮リンク|サイマー|en|Cymer|label=}}は2012年に買収している<ref name=":1" />。2020年には他の光学メーカーを買収し、光学技術まで内在化している<ref name=":2">{{Cite web|title=半導体製造装置のASMLが独光学部品メーカーを買収|url=https://fbc.de/scp-01160720/|website=FBC|date=2020-07-16|accessdate=2021-02-10|language=ja|first=|last=|publisher=}}</ref>。
なお、光源は2012年に買収したアメリカの{{仮リンク|サイマー|en|Cymer|label=}}から前から調達されている<ref name=":1" />。
 
一時国内外から[[オープンイノベーション]]の成功例だと言われたASMLだが、今はそういう経緯で技術の[[囲い込み]]になっている。ASMLは本来オランダの政策金融で破綻を免れた後、日本勢の独走に危機感を感じていたアメリカ官民の理解を得て、技術導入と買収によって成長した企業という背景があり、ある意味当然な展開であるをもつ
 
== 世界シェア・ランキング ==
売上高ベースで2019年のASML露光装置の世界シェアは81.2%である<ref>{{Cite book|title=世界半導体製造装置・試験/検査装置市場年鑑2019|year=2019|publisher=グローバルネット株式会社}}</ref>。1996年は日本のニコンが約50%弱、[[キヤノン]]が約25%のシェアを獲得していた。ASMLは同ベースで2002年に初めて同ベースで1位となり、2005年以降ニコンを完全に抜いた。
 
露光装置の内訳を見ると、EUVで世界シェア100%、ArF液浸で97%、Krfで65%(2018年、売上高ベース<ref>{{Cite web|title=特集:EUV露光装置が織り成す半導体革命(レーザーテック、東京エレクトロン、アドバンテスト)|url=https://media.rakuten-sec.net/articles/-/25984|website=トウシル 楽天証券の投資情報メディア|accessdate=2020-11-25|language=ja|first=今中|last=能夫}}</ref>)と光分解能の露光装置では圧倒的なシェアを獲得している。
 
2008年の[[半導体・製造装置メーカー売上高ランキング|半導体製造装置メーカーランキング]](VLSI Researchによる)では、[[東京エレクトロン]]を抜き2位に浮上し<ref>{{PDFlink|[https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/pdf_file_1237312663.pdf 2008 Top Ten IC and Related Equipment Suppliers]}} VLSIresearch</ref>、2011年の同ランキングでは[[アプライド・マテリアルズ]]を抜き、初めて1位となった<ref>{{PDFlink|[https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/706001v1.0.pdf 2011 Top Semiconductor Equipment Suppliers]}} VLSIresearch</ref>。
 
大学との産学連携によって始めた[[Interuniversity Microelectronics Centre|IMEC]]は、今はリソグラフィだけではなく、先端工程開発全般をリードしている。
 
== 沿革 ==
* 2018年 極端紫外線初の量産機「NXE:3400B」の本格的な出荷と使用の開始
* 2019年 ニコンとの和解成立<ref>{{Cite web|title=Nikon {{!}} ニュース {{!}} 報道資料:ニコン、ASML、Carl Zeiss間における全ての訴訟手続の和解合意について|url=https://www.nikon.co.jp/news/2019/0123_01.htm|website=www.nikon.co.jp|accessdate=2020-09-09}}</ref>
*2020年 ドイツのベルライナー・グラス・グループを買収<ref name=":2" />
 
== 日本法人 ==
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