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売上高ベースで2019年のASML露光装置の世界シェアは81.2%である<ref>{{Cite book|title=世界半導体製造装置・試験/検査装置市場年鑑2019|year=2019|publisher=グローバルネット株式会社}}</ref>。1996年は日本のニコンが約50%弱、[[キヤノン]]が約25%のシェアを獲得していた。ASMLは同ベースで2002年に初めて1位となり、2005年以降ニコンを完全に抜いた。
 
露光装置の内訳を見ると、EUVで世界シェア100%、ArF液浸で97%、Krfで65%(2018年、売上高ベース<ref>{{Cite web|title=特集:EUV露光装置が織り成す半導体革命(レーザーテック、東京エレクトロン、アドバンテスト)|url=https://media.rakuten-sec.net/articles/-/25984|website=トウシル 楽天証券の投資情報メディア|accessdate=2020-11-25|language=ja|first=今中|last=能夫}}</ref>)と分解能の露光装置では圧倒的なシェアを獲得している。
 
2008年の[[半導体・製造装置メーカー売上高ランキング|半導体製造装置メーカーランキング]](VLSI Researchによる)では、[[東京エレクトロン]]を抜き2位に浮上し<ref>{{PDFlink|[https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/pdf_file_1237312663.pdf 2008 Top Ten IC and Related Equipment Suppliers]}} VLSIresearch</ref>、2011年の同ランキングでは[[アプライド・マテリアルズ]]を抜き、初めて1位となった<ref>{{PDFlink|[https://www.vlsiresearch.com/public/cms_pdf_upload/706001v1.0.pdf 2011 Top Semiconductor Equipment Suppliers]}} VLSIresearch</ref>。