「シリコンウェハー」の版間の差分

より表面欠陥密度の低い高品質のウエハーを求める要求に応じてさらに加工が行なわれ、エピタキシャル・ウエハー ({{en|EpitazialEpitaxial wafer}}) とアニール・ウエハー ({{en|Annealed wafer}}) 、そして特殊な要求に応じたものとしてSOIウエハー ({{en|Semiconductor On Insulator wafer, Silicon On Insulator wafer}}) が作られる。これらの加工を行なわないものはポリッシュッド・ウエハー ({{en|Polished wafer, PW}}) と呼ばれる。