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'''電子銃'''(でんしじゅう、Electron-gun,e-gun)とは、固体中の[[電子]]を[[熱]]や高[[電界]]により空間に放出させ、これを電界により加速すると共に、電子レンズによりビーム状に収束させて照射する装置。
 
固体中の電子を空間に取り出す電子源(エミッタ)には、熱エネルギにより電子放出を行う熱電子放出型と、高電界により固体表面近傍のポテンシャルバリアを薄くすることにより量子力学的トンネル効果により空間に電子を取り出す電界放射型(Field Emission)がある。前者は、安価に安定な電子源が得やすいため、[[ブラウン管]]などに広く用いられているが、後者のタイプは微細な電子源(点電子源)が得やすく、また高い電流密度が得られるため、高分解能[[電子顕微鏡]]や[[電子線描画装置]]、電子線加工装置、電子線蒸着装置などに用いられている。
また熱電子放出型FEG(ThrmalFEG)の電子銃も使われており同様に[[電子顕微鏡]]や[[電子線描画装置]]などに用いられている。加熱しているためアウトガスの吸着が少なく、長寿命で安定的な電子線放出が行える。
 
[[category:電子工学|てんししゆう]]