「ターボ分子ポンプ」の版間の差分

'''ターボ分子ポンプ'''('''Turbo Molecular Pump'''; TMP)は、内部の金属の羽根が空気分子を弾き飛ばすことにより[[排気]]する[[真空ポンプ]]である。

 

構造上、内部の羽根が歪むと、隣の羽根へ高速回転中に接触して一瞬で壊れてしまう。またターボ分子ポンプを設置する際には、固定を厳重にしておかねばならない。故障して急停止した時に大きな[[トルク]]がかかり、重いターボ分子ポンプが飛んで来てぶつかったことによる死亡事故もある。