「404特許」の版間の差分

[[日亜化学工業]]が[[1992年]]に出願した。本特許は青色発光ダイオードの製造法において最も重要であるツーフローMOCVDに関するものである。

この特許の帰属及び発明の対価について、中村修二は日亜化学工業を相手に訴訟を起こした。

青色発光ダイオードに用いられているGaN([[窒素|窒化]][[ガリウム]])の[[結晶]]を成長させるためには約1000℃に熱した基板にGaNの原料ガスを噴射する必要があるが、そのままではガスが舞い上がってしまい上手く結晶化することができない。そこで、GaNの原料ガスと同時に別のガスを上から吹き付けることで、基板に原料ガスを押しつけ、結晶成長を可能とした。これを[[ツーフローMOCVD法]]と呼び、青色発光ダイオードの製造における最大のポイントとなっている。