「スピンコート」の版間の差分

スピンコートは半導体製造工程に於いて広範囲に使用されている。高品質の薄膜を能率よく生成する手段としてこれに勝る手段は無い。厚さ10ナノメートル以下も可能である。フォトリソグラフィー皇帝工程で使用されるフォトレジストの厚みは約、1μｍである。