「イオン注入」の版間の差分

 
=== Co-Implantation ===
ドーパント原子と共に[[炭素]](C/)、[[窒素]](N/)、[[フッ素]](F)等の原子を注入することにより、熱処理時のドーパントの拡散が抑制される効果が得られる。浅い接合を形成するために用いられることがある。
 
=== PAI(Pre-Amorphization Implantation) ===
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