「化学気相成長」の版間の差分
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[[Image:ThermalCVD-JP.PNG|thumb|right|200px|熱CVD装置の構成図]]
[[Image:PlasmaCVD-JP.PNG|thumb|right|200px|プラズマCVD装置の構成図]]
供給する化学種や求める特性などによって、様々なバリエーションが存在する。最も基本的なのは、化学反応の制御に熱を用いる[[熱CVD]]である。
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