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10行目: TMPは良い真空が得られる手軽で便利なポンプである。ロータの支持方式としては、油潤滑式の[[軸受\|玉軸受]]型と[[磁気軸受\|磁気浮上]]型がある。玉軸型は価格が手ごろな利点があるが、取り付け方向は一方向に限られる。 [[磁気浮上]]型は * 完全にオイルフリー * 取り付け方向の自由度が高い（逆さまや横向きでも設置可能）

「ターボ分子ポンプ」の版間の差分