「真空バルブ」の版間の差分

'''真空バルブ'''（しんくうバルブ）は、[[真空チャンバー]]に取り付けられる[[真空部品]]で[[バルブ]]の一種である。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければならない。また、その構成材料は殆どの場合[[真空用材料]]によって構成されている。