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「クリーンルーム」の版間の差分

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== 空気清浄度 ==
どの程度の塵埃を許容するかの指標として、1立方フィートあたりの空気に、粒径0.5μm（マイクロメートル）以上の塵埃（粒子個数）がいくつあるかの数字で表すことが多い。
===米国連邦空気清浄度基準 209E(2001年11月廃止)===
 
 
 
{| class="wikitable"
|-
! rowspan="2" | クラス
| colspan="5" align="center" | '''最大空中塵埃数/立方フィート'''
! rowspan="2" | ISOレベル<br>基準値相当
|-
! ≥0.1&nbsp;µm
! ≥0.2&nbsp;µm
! ≥0.3&nbsp;µm
! ≥0.5&nbsp;µm
! ≥5&nbsp;µm
|-
! 1
| align="right" | 35
| align="right" | 7.5
| align="right" | 3
| align="right" | 1
| align="right" | 0.007
| align="center"| ISO 3
|-
! 10
| align="right" | 350
| align="right" | 75
| align="right" | 30
| align="right" | 10
| align="right" | 0.07
| align="center"| ISO 4
|-
! 100
| align="right" | 3,500
| align="right" | 750
| align="right" | 300
| align="right" | 100
| align="right" | 0.7
| align="center"| ISO 5
|-
! 1,000
| align="right" | 35,000
| align="right" | 7,500
| align="right" | 3000
| align="right" | 1,000
| align="right" | 7
| align="center"| ISO 6
|-
! 10,000
| align="right" | 350,000
| align="right" | 75,000
| align="right" | 30,000
| align="right" | 10,000
| align="right" | 70
| align="center"| ISO 7
|-
! 100,000
| align="right" | {{val|3.5|e=6}}
| align="right" | 750,000
| align="right" | 300,000
| align="right" | 100,000
| align="right" | 700
| align="center"| ISO 8
|}
 
===ISO基準 14644-1(JIS 準拠)===
{| class="wikitable"
|-
! rowspan="2" | クラス
| colspan="6" align="center" | '''最大空中塵埃数 /立方メートル'''
! rowspan="2" | 米国209E<br>基準相当値
|-
! ≥0.1&nbsp;µm
! ≥0.2&nbsp;µm
! ≥0.3&nbsp;µm
! ≥0.5&nbsp;µm
! ≥1&nbsp;µm
! ≥5&nbsp;µm
|-
! ISO 1
| align="right" | 10
| align="right" | 2.37
| align="right" | 1.02
| align="right" | 0.35
| align="right" | 0.083
| align="right" | 0.0029
|
|-
! ISO 2
| align="right" | 100
| align="right" | 23.7
| align="right" | 10.2
| align="right" | 3.5
| align="right" | 0.83
| align="right" | 0.029
|
|-
! ISO 3
| align="right" | 1,000
| align="right" | 237
| align="right" | 102
| align="right" | 35
| align="right" | 8.3
| align="right" | 0.29
| align="center"| クラス 1
|-
! ISO 4
| align="right" | 10,000
| align="right" | 2,370
| align="right" | 1,020
| align="right" | 352
| align="right" | 83
| align="right" | 2.9
| align="center"| クラス 10
|-
! ISO 5
| align="right" | 100,000
| align="right" | 23,700
| align="right" | 10,200
| align="right" | 3,520
| align="right" | 832
| align="right" | 29
| align="center"| クラス 100
|-
! ISO 6
| align="right" | {{val|1.0|e=6}}
| align="right" | 237,000
| align="right" | 102,000
| align="right" | 35,200
| align="right" | 8,320
| align="right" | 293
| align="center"| クラス 1,000
|-
! ISO 7
| align="right" | {{val|1.0|e=7}}
| align="right" | {{val|2.37|e=6}}
| align="right" | 1,020,000
| align="right" | 352,000
| align="right" | 83,200
| align="right" | 2,930
| align="center"| クラス 10,000
|-
! ISO 8
| align="right" | {{val|1.0|e=8}}
| align="right" | {{val|2.37|e=7}}
| align="right" | {{val|1.02|e=7}}
| align="right" | 3,520,000
| align="right" | 832,000
| align="right" | 29,300
| align="center"| クラス100,000
|-
! ISO 9
| align="right" | {{val|1.0|e=9}}
| align="right" | {{val|2.37|e=8}}
| align="right" | {{val|1.02|e=8}}
| align="right" | 35,200,000
| align="right" | 8,320,000
| align="right" | 293,000
| align="center"| 室内クラス
|}
 
 
 
医療、食品関連のCRであれば0.5μm以上の粒子を対象とし、産業用は0.5～0.1μm以上の粒子を対象にすることが多い。
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