「チャージアップ」の版間の差分
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[[走査型電子顕微鏡|SEM]]では、サンプルに電子線を照射して発生する2次電子を観測している。したがって、サンプル表面からは常に電子が失われ続けるため、徐々に正に帯電する。この電場の影響によって、像が白く浮き上がってみえてしまう。
[[ESCA]]では、サンプルにX線を照射して発生する[[光電子]]を観測している。したがって、[[走査型電子顕微鏡|SEM]]の場合と同様に徐々にサンプルが正に帯電する。これにより[[仕事関数]]が大きくなるため、光電子の運動エネルギーが小さくなり、結果得られる結合エネルギーのスペクトルは高エネルギー側にシフトしてしまう。
チャージアップを防ぐには、サンプルに金を蒸着して電通をよくする、電子銃を利用して中和する、などの方法がある。
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