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その後の MicroVAX II の 78032 CPU (DC333) と 78132 [[FPU]] (DC335) がMicroVAXアーキテクチャを完全VLSI([[マイクロプロセッサ]])で実装したものである。78032 は[[メモリ管理ユニット]]を内蔵した初のマイクロプロセッサである<ref>[http://simh.trailing-edge.com/semi/uvax.html The Computer History Simulation Project: MicroVAX II (1985)]</ref>。MicroVAX II の中核部は1枚の基板で実装されており、そこにプロセッサと1MBのメモリと[[Direct Memory Access|DMA]]機構を備えた[[Q-bus|Q22-bus]]のインタフェースが搭載されている。MicroVAXシリーズのその後の機種ではさらに改良やメモリの追加が行われていった。
 
その後、CVAX、SOC("[[System On Chip-on-a-chip]]"、ワンチップ版CVAX)、Rigel、Mariah、NVAX とチップは進化していった。VAXマイクロプロセッサは当初低価格な[[ワークステーション]]向けに進化し、その後[[ハイエンド]]の機種にも使用されていった。メインフレームからワークステーションまでをカバーする1つのアーキテクチャは当時の業界ではVAXだけであった。CVAXマイクロプロセッサのダイには「最良のものを盗むには十分気をつけて」という意味の言葉がいいかげんな[[ロシア語]]でエッチングされていた。これは当時の[[ソビエト連邦]]の技術者に向けたメッセージであり、ソ連ではDECのコンピュータを[[リバースエンジニアリング]]してクローンを開発していたためである<ref>micro.magnet.fsu.edu, ''[http://micro.magnet.fsu.edu/creatures/pages/russians.html Steal the best]'', retrieved 30 January 2008. 実際のロシア語のメッセージは次の通り: {{Lang|ru|СВАКС... Когда вы забатите довольно воровать настоящий лучший}}</ref><ref>[http://simh.trailing-edge.com/semi/cvax.html The Computer History Simulation Project: CVAX (1987)]'', retrieved 30 January 2008</ref>。
 
VAXアーキテクチャは[[RISC]]技術に取って代わられた。[[1989年]]、DECは[[MIPSアーキテクチャ]]のプロセッサを使用し[[Ultrix]]の動作する[[DECstation]]をリリースした。[[1992年]]、DECは自身のRISCプロセッサ [[DEC Alpha|Alpha]](当初の名称は Alpha AXP)を導入した。この高性能[[64ビット]][[RISC]]アーキテクチャ上では OpenVMS が動作した。