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その後の MicroVAX II の 78032 CPU (DC333) と 78132 [[FPU]] (DC335) がMicroVAXアーキテクチャを完全VLSI([[マイクロプロセッサ]])で実装したものである。78032 は[[メモリ管理ユニット]]を内蔵した初のマイクロプロセッサである<ref>[http://simh.trailing-edge.com/semi/uvax.html The Computer History Simulation Project: MicroVAX II (1985)]</ref>。MicroVAX II の中核部は1枚の基板で実装されており、そこにプロセッサと1MBのメモリと[[Direct Memory Access|DMA]]機構を備えた[[Q-bus|Q22-bus]]のインタフェースが搭載されている。MicroVAXシリーズのその後の機種ではさらに改良やメモリの追加が行われていった。
その後、CVAX、SOC("[[System
VAXアーキテクチャは[[RISC]]技術に取って代わられた。[[1989年]]、DECは[[MIPSアーキテクチャ]]のプロセッサを使用し[[Ultrix]]の動作する[[DECstation]]をリリースした。[[1992年]]、DECは自身のRISCプロセッサ [[DEC Alpha|Alpha]](当初の名称は Alpha AXP)を導入した。この高性能[[64ビット]][[RISC]]アーキテクチャ上では OpenVMS が動作した。
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