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'''エレクトロマイグレーション'''（{{lang-en-short|electromigration}}）とは、[[電気伝導体]]の中で移動する電子と金属原子の間で運動量の交換が行われるために、[[イオン]]が徐々に移動することでにより材質の形状に欠損が生じる現象である。その効果は[[電流密度]]が高い場合に大きくなる。[[集積回路]]が微細化するにつれて、その影響が無視できなくなりつつある。
同種の用語に[[エレクトロケミカルマイグレーション]]（'''イオンマイグレーション'''）があるが、こちらは[[電気化学]]的マイグレーションという点で本項と異なる。
[[画像:leiterbahn ausfallort elektromigration.jpg|thumb|right|銅配線に発生したエレクトロマイグレーションによる故障箇所の[[走査型電子顕微鏡]]画像。[[反応性イオンエッチング|RIE]]と[[フッ化水素|HF]]によって不動態化された保護膜が除去されている。]]
== 歴史 ==
エレクトロマイグレーションは100年以上前から知られた現象であり、フランスの科学者 Gerardin が{{要検証範囲|[[1861年]]に<ref>{{Cite journal|author=M. Gerardin|year=1861|title=Chemical review|journal=Academy of Science Paris|volume=53|page=727}}</ref>|date=2017-2}}発見した[現象である<ref>{{Cite journal|author=Tim Rost|year=2005|title=PREFACE|url=http://ieeexplore.ieee.org/iel5stamp/9994/32106/01493049stamp.pdfjsp?arnumber=1493049]|journal=IEEE International Reliability Physics Symposium Proceedings|volume=43|page=iii|format=PDF}}</ref>。実用的な意味で注目されるようになったのは、1966年、集積回路が初めて製品化されたころからである。この分野の研究はジェームズ・R・ブラックが確立し、製品寿命の予測に用いられる「ブラックの方程式」に名を残している。当時、集積回路内の金属配線は約10[[マイクロメートル]]程度の幅だった。現在は数百から数十が、2017年に10[[ナノメートル]]プロセスの[[CPU]]の市場投入が予定される<ref>{{Cite news|title=Intel、2018年に14nmの新CPU“Coffee Lake”を投入 ～ 10nmに微細化されるCannon Lakeと並列投入|newspaper=PC Watch|date=2016年7月19日|url=http://pc.watch.impress.co.jp/docs/column/ubiq/1010830.html|accessdate=2017-2-10}}</ref>なっど微細化が進行しており、これに伴って電流密度が増加しているためエレクトロマイグレーションの研究は重要性を増している。
== 実際用上の影響 ==
エレクトロマイグレーションは集積回路の信頼性を損なう。最悪の場合、回路の一部が切断された状態となり、全く動作不可能になる。配線の信頼性は、[[宇宙開発]]や[[軍隊|軍用]]の応用だけでなく、自動車の[[アンチロック・ブレーキ・システム]]などの民生応用でも重要とされているため、この現象には[[テクノロジー]]的にも[[経済]]的にも大きな関心が寄せられている。
一般に、商用集積回路の製品寿命は、配線がダメになる機能を失うまでの期間よりもかなり短く、通常の製品でエレクトロマイグレーションの発生を考慮することはほとんどない。ブラックの方程式という数式で集積回路内の配線の寿命を予測でき、HTOL<ref>{{lang-en-short|high temperature operating life}}</ref>という検査技法でデバイスを高温かつ電流密度の高い状況で試験し、その結果から通常の状態での寿命を[[外挿]]して推定する。
エレクトロマイグレーションでによる欠陥の生じ蓄積した集積回路は全く機能しなくなるが、その兆候は間欠的な不具合として表れ、診断は非常に難しい。ごく一部の配線が先に途切れるので、回路は無作為なエラーを発生するように見え、（ESD故障など）他の故障と区別しにくい。実験室では[[電子顕微鏡で]]によりエレクトロマイグレーションの様子を観察できる。
回路が微細化するにつれて、エレクトロマイグレーションによる故障の可能性が増大している。これは、回路のサイズが {{Math|1/''k''}} 倍になると、[[電力密度と]]は {{Mvar|k}} 倍、電流密度が増は {{Math|''k''<sub>2</sub>}} 倍となり、エレクトロマイグレーションの影響も大すきくなるためである。最近の[[集積回路#プロセス|半導体製造プロセス]]では配線素材として[[アルミニウム]]の代わりに[[銅]]を使うようになっている（銅は[[脆性|脆]]いが、[[電気伝導率|導電率]]が高いため）。銅はエレクトロマイグレーションに影響されにくい性質があるが、全くないわけではなく、常に集積回路製造における課題であり、いため銅配線のエレクトロマイグレーションの研究は今も続いている{{いつ|date=2017年2月}}。
現代の [[民生 用]]電子機器では、集積回路がエレクトロマイグレーションによって故障することはほとんどない。何故なら、集積回路のレイアウト設計段階でエレクトロマイグレーションの影響を考慮に入れるからである。ほとんど全ての集積回路の設計は[[EDA]]ツールを使っており、 [[トランジスタ ]]のレイアウトレベルでエレクトロマイグレーションに関して検証することができる。メーカーが指定する [[温度 ]]と [[電圧 ]]で使用すれば、正しく設計された集積回路はエレクトロマイグレーションで故障する前に他の要因 （γ（[[ガンマ線 |γ線]]のダメージ蓄積など）で故障することになる。 ▼回路のサイズが ''1/k'' 倍になると、電力密度は ''k'' 倍、電流密度は ''k<sup>2</sup>'' 倍となり、エレクトロマイグレーションの影響も明らかに大きくなる。
▲現代の民生電子機器では、集積回路がエレクトロマイグレーションによって故障することはほとんどない。何故なら、集積回路のレイアウト設計段階でエレクトロマイグレーションの影響を考慮に入れるからである。ほとんど全ての集積回路の設計は[[EDA]]ツールを使っており、トランジスタのレイアウトレベルでエレクトロマイグレーションに関して検証することができる。メーカーが指定する温度と電圧で使用すれば、正しく設計された集積回路はエレクトロマイグレーションで故障する前に他の要因（γ線のダメージ蓄積など）で故障することになる。
とはいうものの、エレクトロマイグレーションによる故障の記録もある。1980年代後半、[[ウェスタン・デジタル]]のデスクトップ型ディスクドライブ装置が出荷後12カ月から18カ月でほぼ必ず故障するという事態が発生した。故障で返品された装置を調べたところ、他社製の集積回路コントローラの設計基準に問題があることが判明した。問題の集積回路を別の会社のものと置換したところ、故障は発生しなくなったが、それまでに同社は大損害を被った。
[[マイクロプロセッサ]]の[[オーバークロック]]（特に電圧も通常より高くした場合）によってもエレクトロマイグレーションが発生しやすくなり、寿命がかなり短くなる。
エレクトロマイグレーションは低電圧[[パワーMOSFET]]のような[[電力用半導体素子]]の故障原因とにもなる可能性もある（[[電界効果トランジスタ#.E7.AB.AF.E5.AD.90|ソース電極]]（通常アルミニウム）の電流密度が限界以上になることがあるため）。アルミニウム層がダメージを受けると、ON状態の抵抗値が増し、最終的に完全に故障する。
== 関連する標準規格 ==
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