「加速度計」の版間の差分

小型の加速度計（加速度センサ）は[[MEMS]]技術を用いて作製される。[[MEMS]]の加速度計センサの場合、質量が小さいため感度は低下するが劇的な小型化が可能になるため、自動車の[[エアバッグ]]や[[カーナビゲーション]]の傾斜計、ゲームの操作機コントローラなどに使われている。精度は測定軸を基準に仕様されるため、軸の方向を筐体の固定面（およびその加工精度）で確定しないと加速度センサが提唱する精度に意味がなくなり、特にプリント基板上に加速度計センサが実装されただけの状態では計測用途に適用し難い。

光学式の加速度計センサにはいくつかの形式があり、加速度によって生じる位置の変化を光学的に伝達する目的や検出・増幅するために使用され、光検出器センサによって最終的には電気信号に変換する。FBG光ファイバ式では、錘にかかる加速度をFBG（{{en|Fiber Bragg Grating}}）光ファイバへの張力とすることで、波長の変化を検出する。一度、半導体式加速度センサで測定したデータを[[光ファイバー]]に乗せて伝送する物を光学式と呼ぶ場合もあり、さまざまな形式が存在する。

機械式や光学式の加速度計センサでは製造・調整・補修に手間がかかりコストを押し上げ、小型化や知能化にも向かないため、近年の多様な装置に使用される加速度計センサには半導体式の採用が多くなっている。いずれも[[MEMS]]（Micro Electro Mechanical Systems）技術を使ったものである<ref>{{cite|和書 |editor=西原主計 |title=センシング入門 |publisher=オーム社 |date=2007年3月20日 |edition=1 |ISBN=9784274203787}}</ref>。

=== 3軸加速度計センサ ===

3軸加速度計センサーは、XYZ軸の3方向の加速度を1デバイスで測定できるMEMSセンサの一種である。±数gの範囲が測定可能である。

*ピエゾ抵抗型3軸加速度計センサ

*静電容量型3軸加速度計センサ

*熱検知型3軸加速度計センサ