「スピンコート」の版間の差分
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* Dirk W. Schubert, Thomas Dunkel; Spin coating from a molecular point of view: its concentration regimes, influence of molar mass and distribution; Materials Research Innovations Vol. 7, p. 314 (2003)
* [https://ac.els-cdn.com/S0009250918300125/1-s2.0-S0009250918300125-main.pdf?_tid=a71a1368-16e0-11e8-a64a-00000aacb35d&acdnat=1519201657_73626aeee768e1181b9eba4bff18ffc1/ Deposition of polymer films by spin casting: A quantitative analysis]
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[[Category:半導体製造]]
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