「ターボ分子ポンプ」の版間の差分
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ターボ分子ポンプは、1912年にドイツのW.ゲーデによって機械式高真空ポンプの起源となる分子ポンプが考案され、その後、同じくドイツのW.ベッカーが1955年にタービン翼を有するターボ分子ポンプ(TMP)を考案、これが1958年に商品化されたのが最初といわれる。
動作原理は、斜めに配置されたタービン翼を高速回転（数万[[rpm (単位)|rpm]]に達する）させて吸気から排気への通過確率(A)と排気から吸気への通過確率(B)に差をつける事で圧力差を発生させる。設計上の排気速度は（開口面積×11.6×A/（B×p））となる（pは圧力上昇分）。翼の角度と回転数（翼速度）を[[モンテカルロ法]]などで計算すると、翼角度大＝排気速度大、圧縮比小。翼角度小＝排気速度小、圧縮比大となってくる。到達圧力は 10<sup>-7</sup>[[パスカル (単位)|Pa]] (10<sup>-10</sup>[[トル|Torr]])程度。
その原理から、気体分子に対する翼速度（翼速度比）によって排気速度が変化するため軽ガス（[[水素]]・[[ヘリウム]]）に対しては排気速度が低下する。[[背圧|動作圧力]]には制限があるため、普通は[[ロータリーポンプ]]を補助ポンプとして用い、1セットになっている。ポンプ使用中に圧力が高真空から低真空側へ急激に変化した場合、ポンプの破損に繋がる可能性がある。
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