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[[マイクロ波]]は[[可視光]]と比較してはるかに[[波長]]が長いため、そのままでは[[分解能]]を高める事ができない。そこで[[走査型近接場光顕微鏡]]の概念をマイクロ波の帯域にまで拡張する事によって分解能を高める方法と[[原子間力顕微鏡]]の手法を適用して分解能を高める手法がある。
[[走査型近接場光顕微鏡]]の手法では[[マイクロ波]]の照射位置を局所的に絞って試料を相対的に走査する。近接場光学顕微鏡(Near-field Optical Microscopy: NOM)の原理は1928年にEdward Hutchinson Syngeによって提案されていたが<ref>Synge, EdwardH. "[http://www.tandfonline.com/doi/abs/10.1080/14786440808564615 A suggested method for extending microscopic resolution into the ultra-microscopic region.]" The London, Edinburgh, and Dublin Philosophical Magazine and Journal of Science 6.35 (1928): 356-362.</ref><ref>Synge, Edward Hutchinson. "[http://www.tandfonline.com/doi/abs/10.1080/14786440808564615 An application of piezo-electricity to microscopy.]" The London, Edinburgh, and Dublin Philosophical Magazine and Journal of Science 13.83 (1932): 297-300.</ref>、実際に作動する原型が作られたのは走査型マイクロ波顕微鏡の方が近接場光学顕微鏡よりも早く、1972年にEA AshとG Nichollsによってマイクロ波領域で実験的に検証された経緯がある<ref>Ash, E. A., and G. Nicholls. "Super-resolution aperture scanning microscope." Nature 237.5357 (1972): 510-512.</ref><ref>鶴岡徹、「[https://doi.org/10.11499/sicejl1962.45.105 近接場光を用いた計測技術とその応用]」
[[原子間力顕微鏡]]の手法では[[カンチレバー]]の先端の探針からマイクロ波を局所領域に照射して、その反射応答を計測することで、特に半導体の場合にはキャリア濃度に相関した信号を得る<ref name="mst">{{cite web |title=走査型マイクロ波顕微鏡法 |accessdate=2017-11-07 |url=http://www.mst.or.jp/method/tabid/159/Default.aspx
== 用途 ==
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== 参考文献 ==
* 坂真澄、「[https://doi.org/10.1299/kikaia.65.2193 マイクロ波による材料評価]」
* Oliynyk, V. V., and V. L. Launets. "[https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/947336 Scanning near-field microwave microscope.]" Physics and Engineering of Millimeter and Sub-Millimeter Waves, 2001. The Fourth International Kharkov Symposium on. Vol. 2. IEEE, 2001.,
* 莅戸立夫、「[https://doi.org/10.11538/ekitou.2006.0.83.0 高周波帯走査型近接場顕微鏡技術]」
* 掛本博文, et al. "非接触プローブを用いたマイクロ波顕微鏡の空間分解能の解析." 2006 年 (平成 18 年) 春季 第 53 回応用物理学関係連合講演会 1 (2006).
* Talanov, Vladimir V., et al. "[https://arxiv.org/pdf/1310.0078 A near-field scanning SQUID microwave microscope.]" arXiv preprint arXiv:1310.0078 (2013).
* 高橋英幸, 今井良宗, 前田京剛、「[https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.70.1.0_1945 21aBA-12 走査型マイクロ波顕微鏡による K_xFe_ySe_2 におけるメゾスコピック相分離のマイクロ波イメージング]」
== 関連項目 ==
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