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62行目: * 2004年第3世代機（量産機）「XT:1400i」出荷 * 2006年第4世代機（量産機）「XT:1700i」出荷 * 2012年次世代露光技術である極端紫外線の開発の加速化のため、世界半導体大手の3社インテル、サムスン、TSMCから約50億ドルの投資を受け入れる。ニコンのと長いパートナー関係であるインテルが6割の30億ドルを担う事になる<ref>{{Cite web\|title=Samsung、ASML株の3％を6億3000万ドルで取得へ\|url=https://eetimes.jp/ee/articles/1208/29/news032.html\|website=EE Times Japan\|accessdate=2020-12-01\|language=\|publisher=}}</ref> 。ニコンは同技術の実用化と普及が起こる可能性が低いと判断してていたので、程無くその開発から撤退する * 同年アメリカのサイマーを買収<ref name=":1">{{cite web\|url=http://news.mynavi.jp/news/2012/10/17/108/\|title=ASML、半導体向けEUVリソグラフィの開発を促進に向けCymerを買収\|accessdate=2017-01-02\|date=2012-10-17\|publisher=マイナビニュース}}</ref> * 2016年台湾の漢民微速科技を買収<ref>{{cite web\|url=https://www.bloomberg.co.jp/news/articles/2016-06-16/O8U8RP6S973201\|title=蘭ＡＳＭＬが台湾の漢民微測科技を買収へ－約3260億円で\|accessdate=2017-01-02\|date=2016-06-16\|publisher=ブルームバーグ}}</ref>

「ASML」の版間の差分