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== 世界シェア・ランキング ==
売上高ベースで2019年のASML露光装置の世界シェアは81.2%である<ref>{{Cite book|title=世界半導体製造装置・試験/検査装置市場年鑑2019|date=2019年|year=2019年|publisher=グローバルネット株式会社}}</ref>。1996年は日本のニコンが約50%弱、[[キヤノン]]が約25%のシェアを獲得していた。ASMLは2002年に初めて同ベースで1位となった。
 
露光装置の内訳を見ると、EUVで世界シェア100%、ArF液浸で97%、Krfで65%(2018年、売上高ベース<ref>{{Cite web|title=特集:EUV露光装置が織り成す半導体革命(レーザーテック、東京エレクトロン、アドバンテスト)|url=https://media.rakuten-sec.net/articles/-/25984|website=トウシル 楽天証券の投資情報メディア|accessdate=2020-11-25|language=ja|first=今中|last=能夫}}</ref>)と光分解能の露光装置では圧倒的なシェアを獲得している。