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[[2008年]]6月に[[Intel Atom]]搭載のMini-ITXマザーボードをインテルが発売して以降、各社が続々と同様のCPUオンボードのマザーボードを販売。後にデスクトップ向けCPUソケットを搭載したモデルも発売され、2020年現在ではゲーミングモデルのMini-ITXマザーボードやMini-ITX専用のパソコンケースが発売されており、1つのマザーボードフォームファクタとして定着した。
 
[[自作パソコン]]としては、[[チップセット]]やCPU内のグラフィック機能を活用し、[[省スペースパソコン]]や[[ホームシアター]]パソコン(HTPC)としての使用に適している。ただし、PCI-Express×16を搭載しているマザーボードも多く、Mini-ITX専用ケースの中には本格的な[[ビデオカード]]を搭載できるモデルも存在する。
 
CPU直付けタイプはノートPC向けなどの[[熱設計電力]] (TDP) が小さいCPUを実装し、[[CPUの冷却装置]]としての強力な冷却ファンを必要としないモデルが多い。デスクトップ向けCPUに比べると性能が低い場合が多いがインターネットやメール、ビジネス用途であれば十分な性能である。